6月9日，尼康（Nikon）正式公布新款半导体后端工艺数字光刻机的开发计划。这款新机定位差异化市场，拥有1.5μm分辨率，生产效率相较同类产品提升30%，每小时可处理65片基板。此前尼康在2025年7月已推出首款后端工艺图案化系统DSP-100，该设备可达1μm分辨率，每小时产能为50片510mm×515mm规格基板。本次全新机型与DSP-100采用同一技术平台，主打不同性能优势，灵活匹配多样化生